ការមើល: 26 អ្នកនិពន្ធ: កម្មវិធីនិពន្ធវែបសាយត៍បោះពុម្ភម៉ោង: 2022-05-20 ប្រភពដើម: កន្លេង
វិធីសាស្រ្តនៃស្ពាន់ក្រហមផ្សារ (នោះគឺជាអ្វីដែលហៅថាការផ្សារឧស្ម័នឧស្សាហកម្មការផ្សារធ្នូធ្នូដោយដៃការផ្សារធ្នូដោយដៃនិងការផ្សារដោយដៃក៏អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់រចនាសម្ព័ន្ធធំផងដែរ។
1 ។ ការផ្សារឧស្ម័នរបស់ទង់ដែង
សន្លាក់គូថគឺត្រូវបានប្រើជាទូទៅបំផុតសម្រាប់ស្ពាន់ស្វ៊ែរនិងសន្លាក់ភ្លៅនិងសន្លាក់ T-CANDS ត្រូវបានប្រើតិចបំផុតតាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។ ការផ្សារដែកហ្គាសអាចប្រើខ្សែភ្លើងផ្សារពីរប្រភេទគឺខ្សែផ្សារមួយដែលមានធាតុ deoxidizing ដូចជាលួសឆ្នាំ 201 20 ។ មួយទៀតគឺខ្សែស្ពាន់ទូទៅនិងបន្ទះកាត់នៃលោហៈមូលដ្ឋានដោយប្រើភ្នាក់ងារហ្គាស 301 ជាលំហូរ។ អណ្តាតអព្យាក្រឹតគួរតែត្រូវបានប្រើនៅពេលដែលស្ពាន់ក្រហមផ្សារក្រហម។
2 ។ ការផ្សារធ្នូដោយដៃរបស់ទង់ដែង
នៅក្នុងការផ្សារធ្នូដោយដៃ, ប្រព័ន្ធទង់ដែងក្រហម, អេឡិចត្រូនិច, ប្រព័ន្ធអេឡិចត្រូនិកក្រហម 107 ត្រូវបានប្រើហើយស្នូលផ្សារគឺស្ពាន់ពណ៌បៃតង (T2, T3) ។ គែមផ្សារគួរតែត្រូវបានសម្អាតមុនពេលផ្សារ។ នៅពេលដែលកម្រាស់នៃការផ្សារភ្ជាប់គឺធំជាង 4 មមវាត្រូវតែត្រូវបានគេបន្ទាបខ្លួនមុនពេលផ្សារហើយសីតុណ្ហភាពដែលបានកំដៅជាទូទៅមានប្រហែល 400 ~ 500 អង្សាសេ។ សម្រាប់ការផ្សារជាមួយអេឡិចត្រូតស្ពាន់ 107 ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលគួរតែត្រូវបានបញ្ច្រាស់ដោយឌីស៊ី។
ធ្នូខ្លីគួរតែត្រូវបានប្រើក្នុងអំឡុងពេលផ្សារដែកហើយអេឡិចត្រូតមិនគួរបញ្ចោញនៅពេលក្រោយទេ។ ចលនាលីនេអ៊ែរចម្រៅរបស់អេឡិចត្រូតអាចធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវការបង្កើតផ្សារដែក។ សម្រាប់ការផ្សារដែកវែងវិធីសាស្ត្រផ្សារដែកបន្តិចបន្តួចគួរតែត្រូវបានប្រើ។ ល្បឿនផ្សារគួរតែលឿនបំផុតតាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។ នៅពេលដែលការផ្សារពហុស្រទាប់, ស្លាយនៅចន្លោះស្រទាប់ត្រូវតែត្រូវបានដកចេញទាំងស្រុង។
ការផ្សារគួរតែត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងកន្លែងដែលមានខ្យល់ចេញចូលបានល្អដើម្បីការពារការបំពុលស្ពាន់។ បន្ទាប់ពីផ្សារសូមប្រើញញួររាបស្មើដើម្បីធ្វើឱ្យផ្សារដែកដើម្បីបំបាត់ភាពតានតឹងនិងបង្កើនគុណភាពនៃផ្សារដែក។
3 ។ ការផ្សារធ្នូធ្នូដោយដៃរបស់ស្ពាន់ក្រហម
នៅក្នុងការផ្សារធ្នូរបស់ Argon argon នៃស្ពាន់ក្រហមខ្សែភ្លើងដែលបានប្រើគឺលួស 201 (ខ្សែស្ពាន់ពិសេស) និងលួស 202 ហើយខ្សែស្ពាន់ដូចជា T2 ផងដែរ។
មុនពេលផ្សារអុកស៊ីដផលិតខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីដប្រេងនិងភាពកខ្វក់ផ្សេងទៀតនៅលើគែមផ្សារនៃស្នាដៃនិងផ្ទៃនៃខ្សែផ្សារត្រូវតែសម្អាតដើម្បីជៀសវាងគុណវិបត្តិដូចជារន្ធញើសនិងការដាក់បញ្ចូលគ្នា។ វិធីសាស្រ្តលាងសម្អាតរួមមានការសម្អាតមេកានិកនិងការសំអាតគីមី។
នៅពេលដែលកម្រាស់ចាននៃសន្លាក់គូទគឺតិចជាង 3 មម, Groove នឹងមិនត្រូវបានបើក; នៅពេលដែលកម្រាស់ចានគឺ 3-10 មម, Groove ដែលមានរាងអក្សរ V នឹងត្រូវបានបើកហើយ groovle មុំនឹងមាន 60-70; នៅពេលដែលកម្រាស់ចានធំជាង 10 មម, Groove ដែលមានរាងអក្សរ X នឹងត្រូវបានបើក, មុំ groove គឺ 60 ~ 70; ដើម្បីជៀសវាងការជ្រៀតចូលមិនពេញលេញជាទូទៅកុំទុកគែមត្រង់ ៗ ។ យោងទៅតាមកម្រាស់នៃចាននិងទំហំនៃចង្អូរនោះការបោសសំអាតសន្និបាតនៃសន្លាក់គូថត្រូវបានជ្រើសរើសក្នុងចន្លោះពី 0.5 ទៅ 1,5 មម។
ការផ្សារធ្នូធ្នូរបស់ Argon ដោយដៃនៃទង់ដែងក្រហមជាធម្មតាទទួលយកការភ្ជាប់វិជ្ជមានឌីស៊ីដែលជាអេឡិចត្រូត Tungsten ត្រូវបានភ្ជាប់ទៅនឹងអេឡិចត្រូតអវិជ្ជមាន។ ដើម្បីលុបបំបាត់រន្ធញើសនិងធានាបាននូវការលាយបញ្ចូលគ្នានិងការជ្រៀតចូលដែលអាចទុកចិត្តបាននៅឫសនៃផ្សារដែកវាចាំបាច់ក្នុងការបង្កើនល្បឿនផ្សារកាត់បន្ថយការទទួលទានឧស្ម័ន argon និង prehat ការផ្សារដែក។ នៅពេលដែលកម្រាស់ចានគឺតិចជាង 3 ម។ មសីតុណ្ហភាពមុនមានសីតុណ្ហភាព 150 ~ 300 អង្សាសេ; នៅពេលដែលកម្រាស់ចានមានទំហំធំជាង 3 ម។ មសីតុណ្ហភាពដែលបានកំដៅគឺ 350 ~ 500 អង្សាសេ។ សីតុណ្ហភាពដែលបានកំដៅមិនគួរខ្ពស់ពេកទេបើមិនដូច្នេះទេអចលនទ្រព្យមេកានិចនៃសន្លាក់ផ្សារភ្ជាប់នឹងត្រូវបានកាត់បន្ថយ។
វាក៏មានការផ្សារអគារកាបូននៃស្ពាន់នៃស្ពាន់និងអេឡិចត្រូតដែលត្រូវបានប្រើនៅក្នុងការផ្សារធ្នូកាបូនរួមមានអេឡិចត្រូតក្រាហ្វិច។ ខ្សែផ្សារដែលត្រូវបានប្រើក្នុងការផ្សារធ្នូធ្នូរបស់ស្ពាន់ពណ៌ក្រហមគឺដូចគ្នានឹងការប្រើក្នុងការផ្សារដែកដែរហើយលោហៈធាតុក៏អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីកាត់បន្ទះផងដែរ។
ការផ្សារលង្ហិន
វិធីសាស្ត្រផ្សារលង្ហិនគឺ: ការផ្សារឧស្ម័នផ្សារធ្នូធ្នូការផ្សារធ្នូដោយដៃនិងផ្សារធ្នូធ្នូ។
1 ។ ការផ្សារលង្ហិនលង្ហិន
ដោយសារតែសីតុណ្ហាភាពសីតុណ្ហភាពឧស្ម័នទាបការហួតស័ង្កសីនៅក្នុងលង្ហិនក្នុងអំឡុងពេលផ្សារអង្កាមគឺវិធីសាស្ត្រនៃការផ្សារដែកដែលត្រូវបានប្រើជាទូទៅបំផុត (សូមអរគុណចំពោះការយកចិត្តទុកដាក់ក្នុងការស្តាប់ការផ្សារដោយស្វ័យប្រវត្តិ) ។
ខ្សែភ្លើងផ្សារដែលត្រូវបានប្រើក្នុងការផ្សារលង្ហិនគឺ: លួស 221 ខ្សែ 222 និងលួសសង្ករ 224 ។ ល។ ការសម្តែងនិងការពារការកើនឡើង។ ពន្លឺដែលត្រូវបានប្រើជាទូទៅសម្រាប់ការផ្សារហ្គាសនៃលង្ហិនគឺជាម្សៅរឹងនិងពន្លឺឧស្ម័ន។ លំហូរឧស្ម័នមានមេតាណុលអផ្សុកនិងមេតាណុល; ហ្វ្លុចស៊ីសដូចជាហ្វុយហ្គាស 301 ។
2 ។ ការផ្សារធ្នូដោយដៃនៃលង្ហិន
បន្ថែមពីលើទង់ដែង 227 និងទង់ដែង 237 សម្រាប់លង្ហិនហ្វ៊ុនអេឡិចត្រូនិចដែលផលិតដោយខ្លួនឯងក៏អាចត្រូវបានប្រើផងដែរ។
នៅពេលការផ្សារធ្នូរបស់លង្ហិនវិធីនៃការភ្ជាប់វិជ្ជមាននៃការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល DC គួរតែត្រូវបានប្រើហើយអេឡិចត្រូតគួរតែត្រូវបានភ្ជាប់ទៅនឹងអេឡិចត្រូតអវិជ្ជមាន។ ផ្ទៃនៃការផ្សារភ្ជាប់នៃការផ្សារភ្ជាប់គួរតែត្រូវបានសម្អាតយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្នមុនពេលផ្សារដែក។ មុំចង្អូរគួរតែមិនតិចជាង 60 ~ 70º។ ដើម្បីធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវការបង្កើតផ្សារដែកការផ្សារភ្ជាប់នឹងត្រូវបានគេបន្ទរនៅ 150 ~ 250 ℃។ ក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការការផ្សារធ្នូខ្លីគួរតែត្រូវបានប្រើមិនត្រូវបានប្រើនៅពេលក្រោយនិងទៅមុខទេមានតែការផ្លាស់ប្តូរចំហៀងតែចលនាលីនេអ៊ែរប៉ុណ្ណោះហើយល្បឿនផ្សារគួរតែខ្ពស់។ ការយល់ដឹងលង្ហិនក្នុងការទាក់ទងជាមួយប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយដែលមានភាពច្របូកច្របល់ដូចជាទឹកសមុទ្រនិងអាម៉ូញាក់ត្រូវតែត្រូវបានធ្វើឱ្យមានសិទ្ធិក្នុងការផ្សារដែកដើម្បីលុបបំបាត់ភាពតានតឹងក្នុងការផ្សារដែក។
3 ។ ការផ្សារសិប្បករ Argon ដោយដៃនៃលង្ហិន
ការផ្សារអគារប្រាសាទ Argon ដោយដៃអាចប្រើខ្សែភ្លើងលង្ហិនស្តង់ដារ: លួស 221 ខ្សែ 222 និងលួសបន្លា 224 ឬប្រើសមាសភាពដូចគ្នានឹងលោហៈធាតុដែលជាសម្ភារៈបំពេញ។
ការផ្សារភ្ជាប់អាចធ្វើបានជាមួយនឹងចរន្តបច្ចុប្បន្នឬដំណើរការដោយផ្ទាល់។ នៅពេលផ្សារដែកជាមួយអេស៊ីការហួតស័ង្កសីគឺស្រាលជាងនៅពេលផ្សារដែកជាមួយឌីស៊ី។ ជាធម្មតាមិនចាំបាច់មានតំលៃមុនពេលផ្សារទេហើយវាគ្រាន់តែត្រូវបានគេបន្ទរនៅពេលដែលភាពខុសគ្នានៃចានមានទំហំធំ។ ល្បឿនផ្សារគួរតែលឿនបំផុតតាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។ បន្ទាប់ពីការផ្សារភ្ជាប់ការផ្សារភ្ជាប់គ្នាគួរតែត្រូវបានកំដៅនៅ 300 ℃ 400 សម្រាប់ការព្យាបាលរបស់ Annealing ដើម្បីលុបបំបាត់ភាពតានតឹងក្នុងការផ្សារភ្ជាប់និងការពារការផ្សារភ្ជាប់ពីការបង្ក្រាបក្នុងអំឡុងពេលប្រើ។
4 ។ ការផ្សារធ្នូកាបូនលង្ហិន
នៅពេលផ្សារដែកធ្នូលង្ហិនលួស 221 ខ្សែ 222 ខ្សែ 224 និងខ្សែភ្លើងផ្សេងទៀតត្រូវបានជ្រើសរើសដោយយោងទៅតាមសមាសភាពនៃលោហៈមូលដ្ឋាននិងខ្សែភ្លើងលង្ហិនដែលផលិតដោយខ្លួនឯងក៏អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ផ្សារដែកដែរ។ ការផ្សារដែកអាចប្រើភ្នាក់ងារហ្គាស 301 ជាលំហូរ។ ការផ្សារគួរតែត្រូវបានអនុវត្តដោយធ្នូខ្លីដើម្បីកាត់បន្ថយការហួតស័ង្កសីនិងការដុត។